WebVia lastプロセスではRIEでシリコンを掘るだけではなく， チップ表面の配線層をもエッチングせねばならない．(C)の表 面ビアの場合はSiO2層や，Al，Cu等のメタル層も通過するこ とになる1) ．材料によってエッチング速度が違うので，精密 WebJメタルシリコン ターペン可溶2液超低汚染形アクリルシリコン樹脂塗料 低汚染性・耐候性に優れたJIS K5659 鋼構造物用耐候性塗料 A種 上塗り塗料 2級取得の、官公庁工事へ …

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